关灯
护眼
字体:

第352章 京城半导体研讨会

首页 书架 加入书签 返回目录

2016年3月,京城。

早春的寒意尚未完全褪去,西山脚下的某座幽静宾馆内,气氛却显得格外凝重。这里没有挂任何横幅,门口的安保级别却高得惊人,荷枪实弹的武警笔直地伫立在哨位上。

会议室里,烟雾缭绕。

几十位头发花白的老者围坐在椭圆形的会议桌旁,他们中的每一位,都是国内半导体领域的泰斗级人物。院士、总师、国家重点实验室的负责人……随便一位走出去,都是能让学术界震动的人物。

坐在主位上的,是来自工信部和科技部的几位主要领导。

林星石坐在靠前的位置,面前放着一杯只有茶叶沉底的清茶。

作为星火科技的掌舵人,同时也是在中芯国际主导攻克22nm工艺的核心人物,他是今天会场里最年轻的面孔,但没人敢轻视他的分量。

“同志们,把大家叫到这里来,是要交底的。”

主持会议的张副部长敲了敲桌子,声音沉稳有力,却透着一股不容忽视的紧迫感,“国际形势早变了。大洋彼岸虽然还没正式出手,但针对我们高科技产业的围堵意图已经十分明显。”

会议室里安静得连一根针掉在地上都能听见。

“去年,我们在中芯国际取得了22nm工艺的突破,这是大喜事,林院士功不可没。”张副部长的目光在林星石身上停留了片刻,随即话锋一转,“但是,我们22nm的生产线,除了那几台刻蚀机是我们自己的中微半导体提供的,其他的核心设备,尤其是光刻机,全是买来的。”

“ASML虽然现在还卖给我们,但如果明天他们不卖了呢?如果他们连零配件都不供应了呢?”

张副部长的问题,像一记重锤,敲在每个人的心头。

“这就是‘卡脖子’。”张副部长沉声道,“被人掐着喉咙过日子,这口气,我们还要忍多久?”

会场的气氛瞬间压抑到了极点。

一位来自沪市微电子的老专家叹了口气,摘下眼镜擦了擦:“张部,不是我们不想争气。光刻机这东西,被誉为‘工业皇冠上的明珠’,它不是单纯的某一项技术,它是光学、流体力学、精密机械、自动化控制等几十个学科的顶尖集合体。”

“就拿光源来说。”老专家指了指投影幕布上的结构图,“ASML用的EUV光源,那是几十万瓦的激光功率轰击锡滴,每秒钟几万次,还要保证能量稳定输出。我们现在的技术储备,连个零头都不到。还有双工件台,两个台子在高速运动中要保持纳米级的同步精度,这在机械加工上简直就是神话。”

另一位来自长春光机所的院士也接过话茬:“物镜系统也是大问题。几十片镜片,面型精度要求是皮米级,稍微有一点热变形,光路就歪了。我们现在能磨出来,但装配调试的难度太大,良品率低得吓人。”

专家们你一言我一语,回顾着国内半导体设备的发展历程。

从早期的“102”工程,到后来的“02专项”,国家投入了海量的资金和人力。虽然在刻蚀机、薄膜沉积设备上取得了不错的成绩,但在光刻机这个最核心的堡垒面前,始终难以形成突破性的战斗力。

坦诚,但也沉重。

大家都在分析差距,寻找原因,但越分析,越觉得那道鸿沟深不可测。这就好比人家已经开着法拉利在赛道上狂飙,我们还在研究怎么把自行车的链条挂稳。

“林院士。”

张副部长忽然点了林星石的名,“你在中芯国际待了三个月,在一线摸爬滚打,把22nm做出来了。从用户的角度,你是最有发言权的。你也来说说。”

林星石闻言,缓缓站起身。

他整理了一下衣领,目光扫视全场。这些老专家们看着他的眼神里,有期待,也有无奈。

“各位前辈,各位领导。”

林星石的声音不大,但很清晰,“刚才听了大家的分析,我很受触动。技术上的难点,各位比我更清楚。我想从应用端的角度,谈谈我的感受。”

他走到投影仪前,没有用PPT,而是拿起白板笔,在白板上画了一个三角

温馨提示:亲爱的读者,为了避免丢失和转马,请勿依赖搜索访问,建议你收藏【笔趣阁】 m.biqug5.com。我们将持续为您更新!

请勿开启浏览器阅读模式,可能将导致章节内容缺失及无法阅读下一章。

上一章 目录 下一页